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2: REM-Aufnahme einer Photoresist-Struktur mit exzellenter Flankensteilheit und hohem Aspektverhältnis.

3: REM-Aufnahme einer Photoresist-Struktur mit segmentierter Flächenunterteilung und vertikalen Seitenwänden.

4: REM-Aufnahme einer Photoresist-Struktur mit geneigten Seitenflanken

5: REM-Aufnahme einer Photoresist-Struktur mit geneigten Seitenflanken

6: Gruppe von Spritzgiess-Einsätzen für die Abformung von mikrofluidischen Bauteilen.

7: Nahaufnahme eines Struktur-invertierten mikrofluidischen Kanals im Nickel-Einsatz.

8: Heissprägestempel mit komplexem mikrofluidischem Layout.

9: Untersuchung eines Heissprägestempels mit Arrays an Sub-Mikrometer feinen Strukturen.

10: Einbaufertiger Heissprägestempel mit Arrays an Sub-Mikrometer feinen Strukturen.

11: REM-Aufnahme von 70nm feinen Strukturen-Arrays auf Nickel-Shim. (Bild-Erlaubnis von Eulitha AG)

12: Spritzgiess-Einsatz mit Zylinderlinsen-Array. Umfangreiche Nachbearbeitung im Werkzeugbau.

13: Wafer nach Nickel-Galvanik von Uhrenkomponenten. Nächster Arbeitsschritt: Läppen/ polieren.

14: Weisslicht-Interferometer Scan eines Nickel-Stahl Hybrid Spritzgiess-Einsatz.

15: Kontaktwinkel-Messung nach Oberflächenbehandlung mit einer Antihaftschicht auf einem Nickel-Einsatz.